四氟化碳吸附活性炭 (HGCF)

公布时候:2021-05-27

        四氟化碳是目前微电子产业顶用量最年夜的一种电子气体,是一种非常强的温室气体。直接排放将会给环球环境带来巨年夜的粉碎。

        操纵活性炭治理四氟化碳的首要过程起首是操纵活性炭和吸脱附装备对四氟化碳进行捕获吸附,吸附饱和完成后,再进行脱附并收受领受四氟化碳,收受领受的四氟化碳颠末提纯后可反复利用。活性炭在利用1-2年后见效,可在反应炉中与氟气反应天生四氟化碳,吸附的四氟化碳也在生产过程中开释收受领受,到达四氟化碳的循环利用。

        四氟化碳公用活性炭的首要特性在于不单可以或许高效吸附电子气体,特别是四氟化碳,并且在吸附饱和后仍能满足操纵活性炭制备四氟化碳的请求,这就请求活性炭具有较高吸附值和较低酸溶性物质,还要有适合的比大要积与孔隙漫衍,以便于制备过程中晋升反应效力。我公司操纵牢固碳含量高的煤种,经由过程工艺进一步降落灰分和碱金属物质,再通度日化节制比大要积孔隙率,使得活性炭在满足吸附脱附请求的同时也满足了制备四氟化碳的需求。该活性炭在四氟化碳生产工艺中对粗品纯度有较年夜进步,为下一步精馏措置年夜年夜降落了负担和分外耗损。

  

四氟化碳活性炭收受领受CF4和再操纵流程

四氟化碳公用活性炭参数表(QB/HH/QMSP01-01-2018)

型号

HGCF4A

HGCF5

HGCF5A

表面

玄色颗粒

颗粒尺寸形状

Φ2mm,Φ3mm,Φ4mm

8x30目

水分(%)

≤5

强度(%)

 ≥90%

装填密度(g/l)

550±30

520±30

500±30

TCNG(g/100ml)

4.5

5.2

TCN(g/100ml)

≥9

≥11

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